蓝宝石基底上制备蠕虫状ZnO及强紫外发光性能研究

摘要：

选用纳米球刻蚀技术在蓝宝石(Al2O3)基底上制备350 nm聚苯乙烯(PS)微球密排掩模版,然后采用反应射频磁控溅射方法分别在PS/Al2O3和Al2O3基底上沉积氧化锌(ZnO)薄膜,去除掩模版的PS微球后,对经退火处理的两种样品进行X射线衍射分析、扫描电子显微镜观察和荧光光谱测试.结果表明,在PS/Al2O3上生长的ZnO薄膜(样品1)的晶粒呈明显的蠕虫状,而直接在Al2O3基底上生长的ZnO薄膜(样品2)表面晶粒为不完全六棱台形状.样品2的结晶性能优于样品1,但是在362 nm附近样品1的近带边缘荧光发射峰强度比样品2的发射峰强43倍.

关键词：薄膜、紫外波段、光致发光、氧化锌薄膜、反应射频磁控溅射、纳米球刻蚀技术

所属期刊栏目：42

分类号：O482.31(固体物理学)

资助基金：国家级大学生创新创业训练计划项目210170067

在线出版日期：2022-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：265-269