基于微机电系统波纹振膜的高灵敏度光纤传声器

摘要：

提出了一种基于微机电系统(MEMS)波纹振膜的高灵敏度光纤传声器,通过波纹振膜研制法布里-珀罗干涉腔,可进一步提升光纤传声器的灵敏度.在理论分析中,应用有限元分析软件COMSOL对振膜进行建模,仿真分析了波纹宽度、波纹深度和波纹间距等参数对振膜灵敏度和工作频率的影响.实验结果表明,基于MEMS波纹振膜研制的光纤传声器样机灵敏度为630 mV/Pa,频率响应范围为50 Hz～8 kHz;且该光纤传声器的结构简单,能很好地应用于远场语音拾取等领域.

关键词：光纤光学、传声器、波纹振膜、远场语音拾取

所属期刊栏目：41

分类号：TN29(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2021-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：27-34