基于多波长干涉技术的拼接镜共相检测

摘要：

为了拓展精共相阶段平移误差的检测范围、缩减检测流程以及减少多方法检测在衔接过程中的装校要求,本文提出基于多波长干涉技术的拼接镜共相检测方法.在粗共相阶段,采用单色激光干涉以及白光干涉分别实现百微米以及微米量级的平移误差标定;在精共相阶段,采用双波长激光干涉实现微米级平移误差的高精度检测.以整镜中剖出的两块六边形球面子镜为测试对象,采用红绿激光双波长移相干涉仪与白光显微干涉仪对所提的技术方案进行实验验证,提出基于拼接镜面形检测数据的相对平移误差解算算法,设计并构建一套拼接镜共相装校系统.粗共相阶段标定平移误差至微米量级后,在精共相阶段子镜间平移误差可由601.6 nm补偿至16.0 nm.

关键词：测量、拼接镜、共相检测、双波长干涉、白光显微干涉

所属期刊栏目：41

分类号：TH751;TN247;TN249(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;江苏省"六大人才高峰"高层次人才项目

在线出版日期：2021-10-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：120-129