基于等厚干涉的拼接镜面边缘传感器研究

左恒张茜张勇

中国科学院国家天文台;

摘要：

拼接镜面共相技术是大口径望远镜研制中的关键技术之一,共相精度主要取决于边缘传感器的测量精度.针对大口径拼接镜面望远镜的共相需求,提出一种基于光学等厚干涉原理的边缘传感器设计方案,阐述其基本原理并给出该边缘传感器的结构图.利用数据拟合和图像处理方法,对该方案进行仿真模拟,仿真结果显示该方案的测量精度可以达到倾斜误差为0.02",平移误差为20 nm,可以满足大口径拼接镜面望远镜的共相检测需求.

关键词：光学器件、边缘传感器、图像处理、拼接镜面、子镜共相

所属期刊栏目：41

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院青年创新促进会项目

在线出版日期：2021-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：109-116