利用AlGaN薄膜透射谱提取材料参数的研究

摘要：

为了研究多层结构高铝组分AlGaN薄膜材料的光学性能,并计算得到相关光学参数,本文基于多层膜传输矩阵方法,对两个样品的透射光谱进行了拟合.根据AlGaN材料对不同波长入射光的吸收机制,并考虑了材料在带外的弱吸收,建立了全波段(200～800 nm)范围内的吸收系数模型,同时引入表面粗糙度均方根参数来表征材料表面粗糙度对透射谱的影响.采用所建模型对结构参数不同的两个Al0.65Ga0.35N样品的透射谱进行拟合,拟合结果与实验结果的一致性较好.本文得到的全波段范围内Al0.65Ga0.35N材料的吸收系数,为研究日盲紫外探测器的响应光谱提供了可靠的实验数据.同时,本文还得到了 Al0.65Ga0.35N的膜层厚度、折射率、表面粗糙度等参数.

关键词：集成光学、AlGaN、透射谱、吸收系数、折射率、表面粗糙度

所属期刊栏目：41

分类号：TN304.2(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61774162

在线出版日期：2021-04-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：146-153