组合倍率极紫外光刻物镜系统梯度膜设计方法

摘要：

随着极紫外(EUV)光刻物镜的设计朝着组合倍率物镜系统的方向发展,物镜系统需要同时具有大视场和高数值孔径(NA),因而产生了物镜的光线入射角及入射角范围急剧增大的问题,需要研究适用于组合倍率极紫外光刻物镜系统的膜层设计的新方法.提出了渐进优化膜层的设计方法,该方法提高了镀制膜层的物镜系统的反射率,保证了组合倍率物镜系统的成像质量.利用该方法对NA为0.6的组合倍率物镜系统进行了膜层设计,设计结果表明,含膜极紫外光刻物镜系统的平均反射率大于65％,各反射镜的反射率峰谷值均小于3.35％,反射率均匀性良好.

关键词：光学设计、薄膜、组合倍率、极紫外光刻

所属期刊栏目：40

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项2012ZX02702001-002

在线出版日期：2020-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：164-171