拼接式反射镜共相误差检测

摘要：

基于圆孔衍射理论,设计了一套拼接式反射镜的共相误差光学检测系统,并采用双波长窄带共相算法实现对合成孔径拼接镜的共相检测.方案中设计了圆孔掩模板、相位板和微棱镜阵列,通过数值仿真得到子镜间存在一系列台阶差时的圆孔衍射模板图样,再将待测图样与模板图样进行相关匹配,获得当前子镜间存在的台阶差.在将检测方案应用于拼接镜检测之前,通过相位板在光路中引入已知量相位差进行模拟实验,对衍射图样进行采样和匹配;实验结果验证了方案的可行性,可实现对合成孔径拼接面进行较高精度的共相检测.

关键词：测量、圆孔衍射、共相检测、拼接镜面、合成孔径系统

所属期刊栏目：37

分类号：O436.1(光学)

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：147-154