基于多齿谐振光栅的偏振无关宽带反射镜的研究

摘要：

主要探讨了一种基于多层多齿谐振光栅结构的高性能偏振无关反射镜.得益于TE和TM偏振光泄漏模谐振的共存及相互作用,该器件在1.65～1.72 μm较宽的频谱范围内具有反射率大于97％、角度带宽约为24.6°、插入损耗小于0.25 dB、偏振相关损耗小于0.18 dB的优越性能.通过严格耦合波分析方法验证了此器件在现有工艺误差范围内具有较好的工艺容差性.

关键词：集成光学、偏振无关反射镜、亚波长结构、多齿光栅

所属期刊栏目：37

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金;江西省自然科学基金;江西省自然科学基金;江西省青年科学基金重大项目;航空科学基金;无损检测技术教育部重点实验室项目;南昌航空大学研究生创新专项

在线出版日期：2018-07-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：124-130