白光LED用铝/氧化铝复合陶瓷基板铝表面层形貌及光学特性

摘要：

利用钎焊工艺实现氧化铝敷铜陶瓷基板与铝箔的连接,成功制备出了具备良好导热性能的新型铝/氧化铝复合陶瓷基板.采用机械抛光、化学抛光和电解抛光等方式对铝表面层进行抛光处理.研究结果表明机械抛光、化学抛光和电解抛光等抛光方式均可有效提高铝层表面的光洁度和平整度.而复合抛光即先化学抛光再电解抛光的样品表面粗糙度最低、平整度最好,样品表面反光率在4种抛光方式中最高.

关键词：材料、钎焊、Al/Al2O3复合基板、三维形貌、粗糙度、反光率

所属期刊栏目：36

分类号：TN305.94(半导体技术)

资助基金：江苏高校优势学科建设工程

在线出版日期：2017-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：207-213