长程轮廓仪菲涅耳双棱镜对分束结构

廖家胜巩岩张巍李晶李春才姚长呈闵林

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;

摘要：

针对长程轮廓仪中的一个重要光学部件——分束器,设计了一种菲涅耳双棱镜对分束结构.其功能是将一束正入射平行光分成两束间距可变、强度相等且光程差为零的平行光.对菲涅耳双棱镜对结构特点进行了详细的描述,并对基于菲涅耳双棱镜对分出的两束光在傅里叶透镜后焦面上的干涉条纹振幅分布和能量分布做了理论分析和数值仿真.分析和仿真结果表明,菲涅耳双棱镜对不仅具有已有的等振幅分束结构同样的功能,而且能使长程轮廓仪探测精度更高.对比菲涅耳双棱镜对与已有的4种等振幅分束结构的性能发现,菲涅耳双棱镜对兼备结构简单、满足等光程条件以及分出的两束光间距可变等优异分光效果,可作为已有等振幅分束结构的一种替代结构.

关键词：测量、长程轮廓仪、分束结构、菲涅耳双棱镜

所属期刊栏目：34

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：国家杰出青年科学基金41104122;中国与俄罗斯国家科技合作次助项目2011DFR10010

在线出版日期：2014-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：199-204