基于傅里叶频谱分析的相位测量轮廓术系统Gamma非线性校正方法

摘要：

数字投影和成像系统的Gamma非线性效应是导致相位测量轮廓术(PMP)测量误差的重要原因.目前大多采用多帧条纹图进行Gamma校正,使测量的实时性受到限制.提出了一种Gamma校正方法,利用正交光栅像的傅里叶频谱分布计算Gamma值,再根据此Gamma值对投影相移条纹进行Gamma逆变换,实现投影条纹输入值的提前校正,以获取具有良好正弦性的结构条纹,从而降低PMP相位测量误差.校正过程中只需一帧条纹图,而且考虑了测量系统的离焦效应.实验证实了该方法的有效性和正确性.

关键词：傅里叶光学、相位测量轮廓术、Gamma非线性、正交光栅、傅里叶频谱分析、Gamma校正

所属期刊栏目：32

分类号：TN206;O438.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家863计划2007AA01Z333;国家重大专项2009ZX02204-008;四川省学术和技术带头人培养基金07GRC-01;湖北省教育厅自然科学研究项目B201001203资助课题

在线出版日期：2013-01-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：172-177