突破光学衍射极限,发展纳米光学和光子学

摘要：

信息技术已经进入纳米时代,纳米光学和光子学正是为满足快速和高密度信息技术的需求而产生、发展的.先进的纳米光学和光子学器件应该是高速、高分辨率和高集成的,形成各类光学和光子学芯片和盘片.由于器件最小特征尺寸和加工分辨率受限于光的衍射极限,现有技术已接近实用化技术的理论极限并且成本很高,只有突破光学衍射极限才能进一步发展纳米光学和光子学.在光的远场和近场应用超分辨率技术,是当前重要的前沿课题,它们的应用主要集中于信息技术领域,具有代表性的是纳米信息存储和光刻中的光学超分辨率技术等.

关键词：纳米光学、纳米光子学、超分辨率、光信息存储、光刻

所属期刊栏目：31

分类号：TQ597.3;TN305.7

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：49-57