高精度光纤变维器的制作及测试研究

摘要：

为解决光谱分析及超光谱成像、医学和军事侦察等系统应用中有序密排光纤变维器(OFDTE)存在的定位精度低的问题,利用单晶硅材料的晶格特点和微机电系统(MEMS)的精确定位技术,提出了制作高精度光纤变维器的光纤平面排布方法.分析了系统误差,研究了光纤排列、固化、研磨抛光及封装工艺,制作了2000根光纤的1×2光纤变维器.测量结果为线列端长度累计误差为0.5 μm;局部高度误差小于0.15 μm;器件端面表面粗糙度均方根值小于0.9 nm;在2000周期范围内,光纤阵列端面纵向位置误差最大值为190.5nm;表面未镀膜的光纤变维器的透射率为51.46%.经过随机振动后,器件的断丝率增加0.1%.通过-40℃～40℃温度循环实验,器件结构及性能未发生变化.

关键词：光纤光学、光纤变维器、平面排纤工艺、结构误差、透射率、随机振动

所属期刊栏目：30

分类号：V19;P111(航空、航天的应用)

资助基金：国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2011-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：3425-3429