基于等效膜层理论的1/4规整膜系薄膜偏光分束镜

摘要：

为了设计制作1/4规整膜系的高性能薄膜偏光分束镜,根据三层对称膜系结构的等效膜层理论和截止带理论,设计了两种对称膜系结构的偏光分束镜.利用TFCalc薄膜软件对两种膜系结构偏光分束镜的分光光谱特性进行了模拟.利用电子枪蒸镀法分别制备了两种膜系结构的偏光分束镜(580～780 nm),并利用分光光度计和搭建的消光比测试系统,对两种膜系结构偏光分束镜的透射率和消光比进行了测试.结果表明,两种膜系结构的偏光分束镜在设计分光光谱范围内透射率可以达到90%以上,消光比优于3×10-3,与理论设计吻合得很好.

关键词：薄膜光学、等效膜层、截止带、偏光分束镜、透射率、消光比

所属期刊栏目：30

分类号：O436.3(光学)

在线出版日期：2010-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2159-2163