子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究

摘要：

在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法.利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布.研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法.设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段.

关键词：测量、子孔径拼接干涉(SSI)、凸非球面、零位补偿测试

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分类号：TQ171.65;O436.1

资助基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助项目

在线出版日期：2010-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2022-2026