硅纳米晶的椭圆偏振光谱研究

摘要：

硅纳米晶量子点是硅发光研究领域最有潜力、最重要的一个研究方向.用热蒸发法在硅片上生长了富含硅纳米晶体的SiO2薄膜,观测到嵌埋于SiO2薄膜中硅纳米晶的较强光致发光谱;室温下在可见光区对该薄膜进行了椭圆偏振光谱测量研究.用有效介质近似(EMA)模型结合洛伦兹色散模型对椭偏参数进行了拟合,得到直径分别约为3 nm和5 nm大小的硅纳米晶在约300～830 nm光谱区的光学常数值.这些数据在硅基微纳光子学器件的研究中具有一定的参考价值.

关键词：薄膜光学、椭圆偏振光谱学、光学常数、硅纳米晶、光致发光、尺寸效应

所属期刊栏目：30

分类号：O484;O482.31(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金

在线出版日期：2010-09-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1891-1894