希尔伯特变换条纹分析法及其在非球面镜测量上的应用

摘要：

提出了利用离散的希尔伯特变换法解调干涉条纹相位的方法,叙述了希尔伯特变换法解调相位的原理,并从单一的干涉图样中提取出条纹信号的正弦和余弦部分,正弦与余弦比值的反正切即为干涉相位;然后利用泽尼克多项式拟合,实现波前重建;最后讨论了条纹相位的算法,误差修正和测量面形的应用,从而实现对非球面镜的检测.实验表明,该方法可获得均方根(RMS)的精度为λ/10.

关键词：光学测量、干涉法、条纹分析、希尔伯特变换、非球面、离散信号处理

所属期刊栏目：25

分类号：O436(光学)

资助基金：江苏省重点实验室基金KJS01040;江西省科技厅科技攻关项目200110201500

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：781-785