位错型微机械可变光衰减器的研究

摘要：

介绍了一种基于微机械技术实现的可变光衰减器,通过微电磁驱动器改变输入输出光纤之间的径向偏移量来调整衰减量.基于波导传输理论分析确定了器件的结构参量,并通过集成电路微细加工工艺实现了器件的制作和封装.测试结果表明,该可变光衰减器的插入损耗小于1 dB,动态范围约35 dB,工作电压小于5 V,偏振相关损耗小于0.1 dB,体积为20 mm×15 mm×8 mm,有望为全光网提供一种低成本,高性能的光通信器件.

关键词：光学器件、全光网、可变光衰减器、微机械、电磁驱动

所属期刊栏目：25

分类号：TN715(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金50405013;上海市科委资助项目022261004;上海市西部开发科技合作项目045958007

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：717-718