沉积参量及时效时间对 SiO2薄膜残余应力的影响

摘要：

SiO2薄膜由电子束蒸发方法沉积而成.用GPI数字波面光学干涉仪测量了不同沉积条件下玻璃基底镀膜前后曲率半径的变化,并确定了SiO2薄膜中的残余应力.在其他条件相同的情况下,当沉积温度由190℃升高到350℃时,SiO2薄膜中的压应力由-156 MPa增大为-289 MPa.氧分压由3.0×10-3Pa升高到13.0×10-3Pa时,SiO2薄膜中的应力由-223.5 MPa变为20.4 MPa.通过对薄膜折射率的测量,发现薄膜的堆积密度随沉积条件的改变也发生了规律性的变化.应力的变化主要是由于沉积时蒸发粒子的动能不同,导致薄膜结构不同引起的.同时,在样品的存放过程中,发现随着存放时间的延长,薄膜中的应力表现出了由压应力状态向张应力状态演变的趋势.

关键词：薄膜光学、SiO2薄膜、残余应力、沉积温度、氧分压、时效

所属期刊栏目：25

分类号：O484.4(固体物理学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：126-130