电子束曝光机偏转系统及可动物镜分析

摘要：

电子束大扫描场偏转系统设计中,像差的确定是一个必须解决的实际问题.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,以双通道扫描原理进行扫描,分析了像差与电子束主轨迹的关系.给出了可动物镜的条件,并利用这一条件分析电子束最佳轨迹的结构和方法.并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由该电子束曝光机试验结果表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.采用矢量描写电子轨迹,以积分式表示像差.以0.005 rad半张角,5×10-5的高压纹波,50 mm的像距,10 mm×10 mm扫描场的边脚处,使动态校正前的总像差为0.03 μm.

关键词：成像光学、电子束、像差、扫描系统、可动物镜、动态校正、偏转

所属期刊栏目：24

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金90307003;山东省高技术产业发展项目022070105

在线出版日期：2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：423-426