溶胶-凝胶法制备耐磨宽带SiO2/TiO2增透膜

摘要：

以钛酸正丁酯[Ti(OBu)4]、正硅酸乙酯(TEOS)为原料,采用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉方法在K9光学玻璃基片上镀制得高透过的λ/4～λ/2型宽带增透膜.该增透膜的表面均匀性良好,均方根粗糙度(RMS)为1.201,平均粗糙度(RA)为0.934,具有一定的耐擦除性.经200 ℃热处理,膜层中的OH吸收峰已基本消失,在400～700 nm光谱范围的透过率比基片的平均透过率提高6.6%.为实现大面积涂覆"神光"装置主放大器的防爆隔板玻璃,大幅度提高主放大器的抽运效率奠定基础.

关键词：薄膜物理学、溶胶-凝胶、宽带增透膜、表面均匀、耐擦除

所属期刊栏目：24

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划

在线出版日期：2004-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69