原子力显微镜用于软X射线接触成像的研究

摘要：

论述了在接触显微成像技术中,后续放大设备对分辨率的影响,并用实验方法比较了采用光学显微镜和原子力显微镜阅读并放大显微图的结果,表明采用原子力显微镜放大显微图是一种较为理想的方法.

关键词：原子力显微镜、软X射线、接触成像

所属期刊栏目：22

分类号：O434.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金19655001;国家重点实验室基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：118-120