超分辨相变光盘的膜层计算与分析

摘要：

利用多层膜反射率的矩阵法计算了GeSbTe超分辨相变光盘的光学参数与各膜层厚度之间的关系,最后得到了较为理想的膜层厚度匹配.

关键词：超分辨相变光盘、掩膜、反射率对比度

所属期刊栏目：22

分类号：TN946.5

资助基金：国家自然科学基金59832060

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-35