外差干涉仪中声光调制器特性对测量精度的影响

摘要：

提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性, 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项, 此外入射光束的漂移将引起衍射光的频率漂移.分析了在外差干涉仪中应用它们对测量精度的影响, 提出了消除这些因素影响的方法: 利用双声光调制器外差干涉, 并在干涉仪的内部提取测量的参考信号.用双声光调制器的外差干涉仪可以实现纳米测量.

关键词：声光调制器、外差干涉仪、纳米测量、衍射级次混叠

所属期刊栏目：19

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1368-1374