波长扫描法布里-珀罗干涉仪的优化设计

摘要：

分析了可用于绝对距离测量的波长扫描法布里-珀罗干涉仪腔内多光束干涉对输出信号的影响, 及由此产生的相位测量误差.研究表明, 通过选择合适的腔端面反射率和参考腔长度可以减小相位测量误差.优化选择的腔面反射率为0.10～0.15, 参考腔长为0.95 mm, 在1 mm范围内系统可达到0.05 μm的测距精度.

关键词：波长扫描、法布里-珀罗干涉仪、距离、优化

所属期刊栏目：19

分类号：TH74(仪器、仪表)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1361-1367