表面粗糙度的变波矢光散射测量方法的研究

摘要：

提出了表面粗糙度变波矢光散射测量方法, 通过散射光强中心亮点光能量的对数ln Eδ随k2⊥变化的线性关系来确定粗糙度w, 对6块粗糙度不同的硅片背面样品进行了实验测量.

关键词：光散射、变波矢、粗糙度

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分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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