软X射线多层膜分束镜的研制

摘要：

介绍了软X射线多层膜分束镜的制备, 采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Mo/Si多层膜分束镜.

关键词：软X射线多层膜、分束镜、腐蚀、脱膜

所属期刊栏目：19

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：398-401