可见光减反射膜薄层控制误差的分析与性能优化

摘要：

为提升光学镜头的成像质量,消除杂散光的影响,以K9玻璃为基底设计可见光波段平均反射率小于0.1％的减反射膜.采用电子束离子辅助沉积的制备方式,针对薄层敏感度高、光谱变化大等问题,通过建立稳定控制膜层厚度的数学模型来减小膜厚误差,提高制备精度和成膜稳定性.对减反射膜进行环测实验,优化调整工艺参数,侧重提高减反射膜的硬度和耐水煮能力.实验结果表明,最终制备出的减反射膜在420～680 nm波段内的平均反射率约为0.044％,最高反射率为0.0712％,克服了以MgF2为外层的减反射膜机械性能和化学稳定性较差的问题,满足工程应用低损耗、稳定可靠、高强度、可重复性制备的要求.

关键词：光学薄膜、电子束蒸发镀膜、误差控制、机械性能、可见光、反射率

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：吉林省发改委资助项目;中山市第二批社会公益与基础研究项目;长春市激光制造与检测装备科技创新中心资助项目

在线出版日期：2024-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1-11