蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹深度检测

摘要：

双面研磨作为蓝宝石衬底制备的一道重要工序,研磨表面裂纹深度将严重影响后续抛光的材料去除量,因此对研磨衬底表面裂纹特征研究及深度测量具有重要意义.本文采用截面显微观测法、聚焦离子束侧面观测法、差动蚀刻速率法、磁流变抛光法和逐层抛光法等方法观测双面研磨蓝宝石衬底表面裂纹特征和测量裂纹深度.采用截面显微观测法和聚焦离子束侧面观测法观测研磨后蓝宝石衬底亚表面裂纹形态主要有斜线状、横线状、钩状和树杈状.采用差动蚀刻速率法测得蓝宝石衬底研磨表面裂纹密集层厚度为9～10 μm,而采用磁流变抛光法测得研磨衬底局部亚表面裂纹深度为25～30 μm,采用逐层抛光法测得研磨衬底整体亚表面裂纹深度约为30～35 μm.此外,根据不同方法所检测的裂纹特征和裂纹深度,构建了蓝宝石衬底双面研磨表面裂纹模型,为后续抛光工艺的制定与优化提供依据.

关键词：蓝宝石衬底、研磨、表面裂纹、裂纹检测

所属期刊栏目：31

分类号：TH16

资助基金：国家自然科学基金;福建省区域发展项目

在线出版日期：2023-08-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：2060-2070