小曲率凹面光学玻璃的磁性混合流体精密抛光

摘要：

为实现小曲率凹球面光学玻璃的高效超精密抛光,充分发挥旋转磁场下磁性混合流体兼具黏度和粒子动态分布的特点,提出了一种新型半球头抛光装置.使用Ansoft Maxwell仿真分析轴向充磁圆柱永磁体及其上方分别加装平面铁块和凹面铁块3种磁源结构下的磁场分布,发现加装凹面铁块能强化"边缘效应",获得更集中分布的大磁场区,进一步仿真优化磁体尺寸和偏心距.比较不同抛光液组分和磁体偏心距下的磁性混合流体行为,确定了抛光液的最佳组分以及磁体偏心距.最后,对曲率半径为15.4 mm、中心深度为2.24 mm的凹球面K9玻璃进行抛光实验,90 min后,面形精度RMS由0.719μm降低至11.7 nm,表面粗糙度Ra由0.552μm降低至9.656 nm.新型抛光装置能够实现小曲率凹球面工件的高效纳米级抛光.

关键词：超精密加工、磁性混合流体、小曲率凹球面、边缘效应、磁场优化、抛光液行为

所属期刊栏目：31

分类号：TG664;TH744

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：1314-1324