线性偏摆复合型压电微动平台

摘要：

为了研究微/纳米技术在光学、精密加工和精确定位等领域的应用,提出了一种线性偏摆复合型压电微动平台,以实现线性运动和偏摆运动.对平台的组成和工作原理进行阐述,建立两种运动的数学模型,并进行运动性能仿真.根据拟定的尺寸加工出样机,对样机的运动能力和频响特性进行测试.最后,通过比例积分微分(Proportional Integral Deriv?ative,PID)反馈实现对平台的跟踪控制.仿真和实验结果表明:该平台具有良好的运动精度和解耦性,一阶固有频率可以达到333.8 Hz,能够实现24.924μm的线性运动和1.330 mrad的角度摆动,实现了微/纳米级别的运动,在精密光学、精确定位等领域具有广阔的应用前景.

关键词：微动平台、线性运动、偏摆运动、柔性机构、数学模型

所属期刊栏目：30

分类号：TH744;TP183(仪器、仪表)

资助基金：河南省科技攻关项目;河南省科技攻关项目;河南理工大学杰出青年基金资助项目;河南理工大学博士基金资助项目;河南理工大学博士基金资助项目;河南理工大学青年骨干教师基金资助项目

在线出版日期：2022-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：1058-1070