大面积纳米压印技术及其器件应用

摘要：

大面积纳米压印技术是一种利用模板压印方法大规模制备大面积微纳米结构的图形化技术,具有重复性好、成本低及结构分辨率高等优点.对各类聚合物及介质的快速结构成型使得大面积纳米压印技术在制备微纳光学、光电器件方面具有独特的优势,可应用于发光二极管、显示器、增强现实光波导及微流控芯片等众多领域,并在纳米技术商业化中发挥关键作用.首先对纳米压印技术进行介绍,然后从大面积纳米压印技术、大面积压印模板制备、大面积纳米压印技术的器件应用及其前景与挑战四个方面来介绍大面积纳米压印技术.

关键词：纳米压印、大面积压印模板、大面积图形化、器件应用

所属期刊栏目：30

分类号：TN305.7;TB383.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;广东省基础与应用基础研究基金区域联合基金项目;东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室开放研究基金资助课题

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共19页

页码：555-573