压电陶瓷液体调相器的性能检测

摘要：

光学综合孔径成像技术的关键是解决共相位问题,子孔径之间的相位失调会严重影响成像质量,工程上一般要求调相精度达到光波段λ/10.本文采用压电陶瓷制备一种液体调相器,利用干涉法和数字图像处理技术实现对调相器相位的高精度检测.通过向压电陶瓷腔注入液体来制备调相器,利用干涉仪获得压电陶瓷液体调相器在不同电压下的干涉条纹并使用CCD记录,最后对这些干涉条纹图像进行数字图像处理,得到单个像素的条纹骨架,采用条纹标记法跟踪不同电压下骨架条纹的移动情况,并计算骨架条纹的像素移动量.实验结果表明,在0～30 V的电压下,压电陶瓷液体调相器的调相范围为0～3.325π,调节精度可以达到λ/40,并且在电压区间内调相的线性度良好,满足光学综合孔径中单个子镜的相位调制精度要求.

关键词：综合孔径成像;压电陶瓷;液体调相器;数字图像处理;相位检测

所属期刊栏目：29

分类号：TN256;TP751.2(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目No.61775102

在线出版日期：2021-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1052-1058