聚焦扫描线阵相机量子效率测试系统

摘要：

为了测量线阵图像传感器的量子效率,建立了一套基于聚焦扫描法的量子效率测试系统.该系统由照明光源、单色仪、扫描运动机构和标准探测器等组成,利用扫描运动机构带动线阵相机和标准探测器高精度匀速运动,使相机对生成的单色光斑扫描成像;切换线阵相机与标准探测器之间的位置,可实现对单色光斑能量的测量;最后分析计算线阵相机采集图像灰度总和以及标准探测器探测的光能量总和,结合聚焦扫描法理论公式得到线阵图像传感器的量子效率.测试结果表明:聚焦扫描法测试线阵相机量子效率方案可行,重复精度较高,对测量结果不确定度进行分析,该方法量子效率的测量精度约为2.6％.聚焦扫描线阵相机量子效率测试系统通过动态直线扫描聚焦测量线阵相机的量子效率,弥补了线阵相机量子效率测试方法少、精度低的不足.另外,应用聚焦扫描法测量子效率并不局限于线阵相机,也可对多种类型相机进行光电参数测试,且测量精度可满足大多数项目的要求.

关键词：线阵相机;量子效率;图像传感器;光电参数;不确定度

所属期刊栏目：29

分类号：TN386.5;TP391.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目No.62005280

在线出版日期：2021-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：975-981