X-Y直线电机精密运动平台的轮廓误差主动补偿

摘要：

为了减小X-Y直线电机精密运动平台同步控制的轮廓误差,提高系统的控制精度,针对传统交叉耦合控制结构的不足,提出多电机控制系统的轮廓误差主动补偿结构.首先,以永磁同步直线电机为例分析单轴伺服定位跟踪误差,指出跟踪误差和位置参考有关,结合实际工况中参考指令的扰动,将耦合补偿量最终统一为参考指令的校正加入到系统中,提出轮廓误差主动补偿结构,将轮廓误差补偿量分别补偿到各轴伺服的位置环和速度环,并通过仿真和实验进行验证.结果表明:采用主动补偿方法的X-Y两轴运动平台跟踪大曲率复杂轨迹的轮廓误差平均值为20.68μm;单轴跟踪误差最大值为70μm.相比传统交叉耦合控制结构,主动补偿结构轮廓误差精度提高了15.5％,同时降低了单轴的跟踪误差,并能抑制参考指令扰动.

关键词：轮廓误差、主动补偿、X-Y运动平台、直线电机、跟踪误差

所属期刊栏目：27

分类号：TP273;TM359.4(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51707068;福建省自然科学基金资助项目2017J01097

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1536-1543