双频激光干涉三自由度微振动测量系统

摘要：

为获取光学平台多自由度微振动信息,设计了一种基于平面镜双频激光干涉的三自由度动态微振动测量系统.该系统利用激光多普勒效应,采用三个测量轴获得测量反射镜的三点位移信息,计算出测量镜平动、扭转角、俯仰角信息,实时检测三自由度的微振动情况,从而为光学系统的微振动补偿控制提供基础.对微振动测量系统进行了不确定度分析,建立了不确定度模型,为进一步提高系统精度提供理论依据,也为系统在校准和计量领域的应用奠定基础.实验过程中,采用高精度地震计对待测平台进行同步测量,与系统平动测量结果进行对比,验证了系统的测量准确性.该系统的平动分辨率可达到5 nm,扭转角分辨率为5.05μrad,俯仰角分辨率为4.69μrad,具有多自由度、非接触、高分辨、可溯源的优点.

关键词：微振动测量、双频激光干涉、多自由度、不确定度分析

所属期刊栏目：27

分类号：O439(光学)

资助基金：技术基础科研项目JSJL2017110B001;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目2016XZZX00401

在线出版日期：2019-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1435-1443