用于位相缺陷检测的反射式剪切点衍射干涉仪

摘要：

为了实现光学元件位相缺陷的大视场、高分辨率、瞬态检测, 设计了一种基于无镜成像算法的反射式剪切点衍射干涉仪.该干涉仪通过在参考光与测试光之间引入横向错位量, 形成高密度线性载频, 利用快速傅里叶变换算法从单幅干涉图中提取待测波面信息, 实现缺陷的瞬态测量.利用无镜成像算法抑制了缺陷的衍射效应, 总结了有效的缺陷类型辨别方法.实验检测了强激光系统中的一块光学平晶, 验证了所提缺陷类型判据的正确性.此外, 采用反射式剪切点衍射干涉仪对一块激光毁伤的光学平板进行检测, 测试结果与Veeco NT9100白光干涉仪测量结果相比, 相对误差为2.1％.结果表明, 该干涉仪能够有效应用于检测大口径光学元件的位相缺陷.

关键词：干涉测量、瞬态测量、点衍射、位相缺陷、无镜成像

所属期刊栏目：26

分类号：O436.1;TH744.3(光学)

资助基金：国家重点研发计划资助项目2017YFF0107103

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2873-2880