黏滑驱动式小型精密运动平台

摘要：

为满足微纳操作系统对精密驱动技术的需求,本文提出了一种基于黏滑原理的小型精密运动平台.该平台将柔性铰链、惯性质量块以及弹性元件结合为独立的定子基座,并与压电叠堆、陶瓷球固连为定子,安装在平台基座底部,通过螺钉调节弹性元件端部垂直方向的位置,就可以改变定子与移动台间的预压力,进而获得最佳的驱动力.为研究黏滑驱动的运动机理,分析各参数对平台运动的影响,进行了力学建模;而摩擦力作为黏滑驱动的关键因素,为了能准确地表达黏滑驱动的摩擦机理,在力学建模中引入了LuGre摩擦模型,并利用Matlab/Simulink软件进行了仿真分析.设计加工的黏滑驱动平台的整体尺寸为40mm×40mm×18mm,质量为32g.试验表明:该平台最小可实现10nm的运动步长,速度最高可达2.5mm/s,行程为22mm.

关键词：黏滑驱动、压电叠堆、平台、精密运动、力学分析

所属期刊栏目：26

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：南京航空航天大学研究生创新基地实验室开放基金资助项目kfjj20160102;航空科学基金资助项目2016ZA52014;江苏高校优势学科建设工程基金

在线出版日期：2018-07-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1124-1132