并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量

摘要：

针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台.该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点.本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析.通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析.经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度.

关键词：并联式、自解耦、微位移平台、嵌套式平行导向机构、有限元方法

所属期刊栏目：25

分类号：TH112.5

资助基金：国家重大科技专项2009ZX02202-005

在线出版日期：2017-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1874-1881