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10.3788/OPE.20172507.1807

切点约束和探针针尖半径补偿的金刚石刀具刃口钝圆半径求解方法

引用
本文对金刚石刀具刃口钝圆半径求解方法展开研究,以有效提升金刚石刀具刃口锋利度的测量精度.文中分析了原子力显微镜(AFM)扫描探针几何形貌对金刚石刀具刃口锋利度测量结果的影响,并提出了基于切点约束和AFM探针针尖半径补偿的刀具刃口钝圆半径求解方法;讨论了消噪滤波、测量角度误差以及切点分离方法对测量结果的影响;在高精度测量平台上完成了金刚石刀具刃口锋利度测量,并将被测量的刀具用于飞切加工KDP晶体.结果表明:提出的刃口钝圆半径求解方法能够准确求解金刚石刀具的刃口锋利度,测量结果能很好地描述金刚石刀具的刃口锋利程度,可以为金刚石超精密切削加工的选刀和用刀提供有效指导.

金刚石刀具、刃口钝圆半径、切点约束、针尖半径补偿

25

TP117.2(自动化基础理论)

国家“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项“强激光光学元件超精密制造装备研制”课题资助2013ZX04006011

2017-09-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共8页

1807-1814

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光学精密工程

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