大尺寸光学元件在位动态干涉拼接测量系统

摘要：

为了满足车间条件下大口径光学元件的高精度在位、在线检测的迫切需求,本文构建了一个适于一般环境下应用的动态干涉拼接测量实验系统.该系统由动态干涉仪、二维移动平台、控制系统及拼接软件等部分构成.应用该系统对200 mm×300 mm×20 mm的光学元件在一般应用环境下进行了拼接测量实验,采用误差均化拼接算法进行拼接,并对拼接后的结果进行分析处理,比较拼接测量与全口径测量结果,PV值的相对误差为3.1％,RMS值的相对误差为1.6％,Power值的相对误差为2.1％.该系统为在车间环境下建立大口径光学元件在位检测建立了基础.

关键词：光学检测、子孔径拼接、动态干涉仪、大口径光学元件、误差均化拼接

所属期刊栏目：25

分类号：TH74;TH703(仪器、仪表)

资助基金：国家重大科技专项2013ZX04006011-217;国家自然科学基金资助项目51175318

在线出版日期：2017-09-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1764-1770