干涉条纹相位锁定系统

摘要：

干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低,为了有效抑制相位漂移,利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制.分析了条纹漂移的特点,指出了主要干扰源是0～5 Hz的空气扰动.应用数值分析法得到了条纹漂移量与曝光对比度的关系曲线,并以此为依据提出了条纹锁定精度的目标值.针对所要达到的锁定精度,给出了系统硬件的选型方法,搭建了基于RTX的干涉条纹相位锁定系统.利用闭环辨识的方法得到了系统的参数模型,完成了反馈控制器的设计,最终实现了实时锁定条纹相位的功能.实验结果表明,在400 Hz的控制频率下,干涉锁定系统能够有效抑制0～5 Hz的低频扰动,干涉条纹相位漂移的3σ值可以控制在±0.04个条纹周期内,满足干涉光刻的曝光对比度要求.

关键词：干涉曝光、相位锁定、曝光对比度、声光调制器、RTX

所属期刊栏目：25

分类号：O436.1;TN305.7(光学)

资助基金：清华大学摩擦学国家重点实验室基金资助项目SKLT12C01

在线出版日期：2017-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7