压电陶瓷驱动器的迟滞特性

摘要：

针对压电陶瓷固有的迟滞现象对其定位控制精度的影响,对迟滞进行了特征分析和实验验证.基于微观极化机理和机电耦合效应分析了迟滞的成因,分别对不同驱动行程,全行程不同位置和不同起始电压下的迟滞特性进行了对比实验.结果表明:对10 V行程的驱动,随着电压区间的递增,平均位移输出先增大后减小,平均迟滞误差从0.419 3 μm减小到0.158 9 μm;对100 V行程的驱动,随着起始电压的增大,平均位移输出从42.882 5 μm减小到25.92 μm,平均迟滞误差从3.999 3 μm减小到1.692 3 μm;起始电压每增加15V,位移输出减小5.654 2 μm,迟滞误差减小0.769 μm.实验结果反映了电畴翻转状况对驱动过程机电耦合效率的影响,有效验证了电畴翻转理论.实验也表明:针对电畴翻转不同阶段所表现的的迟滞特征对压电陶瓷驱动器的迟滞误差进行补偿,可修正或减小迟滞误差带来的影响,为提高系统定位控制精度提供科学的参考依据.

关键词：压电陶瓷驱动器、迟滞、电畴翻转、迟滞特性曲线、定位控制

所属期刊栏目：24

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51475176;2013年福建省自然科学基金资助项目2013J05077;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目11J0234

在线出版日期：2016-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1112-1117