应用CVD金刚石涂层工具研磨单晶蓝宝石

摘要：

通过热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积(CVD)金刚石涂层工具,以提高其研磨效率.通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明:金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗糙度影响较大;球状晶结构金刚石涂层切向力较小,棱柱形晶结构金刚石涂层切向力较大;选择棱柱形晶CVD金刚石涂层工具研磨蓝宝石,在研磨加工参数为载荷0.15 MPa、转速100 r/min、研磨时间3 min时,其材料去除率为0.397 μm/min,表面粗糙度为0.354 μm.结果表明:提出的CVD金刚石涂层工具可用于进一步加工、研磨蓝宝石切片,去除其表面划痕,从而改善工件表面质量.

关键词：化学气相沉积(CVD)金刚石涂层、研磨、蓝宝石、晶粒形态

所属期刊栏目：24

分类号：TB43;TN305.2(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51275230;南京航空航天大学研究生创新基地实验室开放基金资助项目kfjj20150507;航空基金资助项目20140152001

在线出版日期：2016-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：540-546