电容传感器线性度标定平台

摘要：

设计了一种电容位移传感器在线标定平台,用于位移的高精度调节和检测.该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴,故从测量原理上减小了阿贝误差.标定平台具有z/tip/tilt调节功能,保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准.介绍了标定平台的组成和标定方法的原理,采用对称平行四边形机构实现了微位移调节,基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程.试验测得动平台行程为735.162 μm,和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410％和4.633％,满足行程误差要求.经过标定补偿后,传感器的线性度由0.014 21％提高至0.006 231％.实验结果显示,该线性度标定方法精度高,标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求.

关键词：电容传感器、线性度标定、标定平台、柔度矩阵

所属期刊栏目：24

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61504142;国家科技重大专项基金资助项目2009ZX02205

在线出版日期：2016-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：143-151