节流器结构参数对Nanosys-1000液体静压导轨承载特性的影响

摘要：

从实际加工角度出发,研究了节流器结构参数对Nanosys-1000超精密加工机床静压导轨承载特性的影响.利用流体分析软件建立导轨承载油垫的有限元模型并搭建了相关静压导轨实验台,研究了进口油压为1.7 MPa,油膜厚度为36μm时承载油垫的压力场分布特征,并通过对压力场积分得到油膜承载力,求导得到油膜刚度,从而揭示不同结构参数对静压导轨承载特性的影响.研究结果表明:节流器结构参数中节流孔孔径对机床承载特性影响最大,其次为节流孔孔长,出入口倒角对其影响甚微.导轨负载较小时,扩大节流孔孔径与缩短节流孔孔长有助于改善静压导轨承载特性;但在重载条件下,缩小节流孔直径,增加节流孔孔长反而更有利.将仿真数据与实验数据作对比,得到3个承载力测量点数据误差分别为7.9％,6.9％,8.6％.最后根据研究成果,确定了Nanosys-1000机床静压导轨节流孔结构参数.

关键词：超精密加工机床、节流器、结构参数、液体静压轴承、压力场分布、承载特性

所属期刊栏目：23

分类号：TH703;TH133.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175518;国家863高技术研究发展计划资助项目2008AA000513

在线出版日期：2015-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：2586-2594