压电惯性驱动器惯性冲击力的分析与检测

摘要：

由于惯性冲击力是压电惯性驱动器产生运动的关键,故本文探讨了方波激励下压电振子的惯性冲击力大小.推导了压电双晶片振子在方波激励下的冲击响应,分析了惯性冲击力的时域特性和幅频特性,分析得到方波激励下惯性冲击力信号频率主要集中在0～500 Hz.采用加速度传感器初步测试了压电双晶片振子的加速度参数,测试结果与理论模型相近.结合压电双晶片振子的端部惯性质量计算得到惯性冲击力的数值,利用快速傅里叶算法获得了加速度参数的幅频特性.最后,采用摩擦学的方法对惯性冲击力的数值进行了验证,验证结果表明两种方法的最大相对误差为8.98％,表明加速度传感器测试惯性冲击力是可行的.

关键词：压电惯性驱动器、惯性冲击力、方波、冲击响应

所属期刊栏目：23

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51175478,51205369;浙江自然科学基金资助项目Y1110529

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1681-1687