双工件台宏微交接系统设计及实验

摘要：

为了减少光刻机双工件台换台的时间,保证宏动系统与微动台的可靠连接,设计了一种双工件台快速宏微交接系统.基于柔性杠杆机构设计系统的快速抓卡装置以保证结构的紧凑性,并对其锁紧力进行了分析;设计的抓卡装置中的柔性机构包括柔性杠杆及下夹板回复单元,采用有限元方法对其进行了分析.设计了快速抓卡装置的充放气回路;为了保证抓卡装置锁紧时的速度和安全性,气动系统可实现抓卡装置锁紧的3个动态过程,从而完成抓紧装置的缓冲锁紧.最后,搭建了抓卡装置下夹板运动测量实验平台和锁紧力测量实验平台.实验结果表明:抓卡装置下夹板的运动行程大于2 mm,能够保证宏动系统和微动台交接过程的安全性.抓卡装置的开启时间为350 ms,快速缓冲锁紧时间为850 ms,可承载的X向驱动力大于700 N.该系统满足双工件台工作及换台过程对可靠性和快速性的要求.

关键词：光刻机、双工件台、交接系统、柔性机构、快速抓卡装置

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分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51205090;中国博士后科学基金资助项目2014M551231;黑龙江省博士后科学基金资助项目LBH-Z12131;哈尔滨工业大学科研创新基金资助项目HIT.NSRIF.2015008

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1673-1680