压电驱动液压放大式喷射系统

摘要：

为了实现高速度高精度的非接触喷射式点胶,设计了一种压电驱动液压放大式喷射系统.该系统采用压电叠堆作为驱动源,基于液压放大原理放大压电叠堆的输出位移来实现胶液的喷射.对液压放大单元进行了理论分析,并结合压电叠堆的输出位移对液压放大单元进行了参数化设计;然后,利用激光测微仪分别测量了撞针和压电叠堆的位移,得到了液压放大单元在不同电压下的输出位移.最后,搭建了喷射系统实验平台,选用黏度为1 000 cps的环氧树脂进行点胶性能测试,得到了驱动电压和高低电平时间对胶点体积的影响规律.实验显示,该喷射系统可稳定地实现每秒喷射143个胶点,胶点的体积误差可控制在±3.11％以内,是适用于电子封装行业的高效、高精度点胶方法.

关键词：电子封装、压电叠堆、喷射式点胶、压电驱动、液压放大

所属期刊栏目：23

分类号：TN405;TP67(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金资助项目50605027;科技部科技基金型中小企业技术创新基金资助项目12C26212201364

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1627-1634