光栅点衍射干涉法检测Φ400mm瞬态波前

摘要：

提出了一种基于光栅点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法.该方法使用位相光栅在参考光与测试光中引入横向错位,即在干涉图中引入线性载频,然后利用傅里叶变换相位解调法提取待测波前.基于标量衍射理论以及傅里叶光学理论建立了瞬态波前检测方案的理论模型,推导了线性载频公式,研究了影响载频大小的因素;基于基尔霍夫公式分析了针孔衍射导致的孔径角变化与能量衰减效应,给出了位相光栅的刻蚀深度公式.实验搭建了Φ400 mm瞬态波前检测装置,采集了对比度良好的高线性载频干涉图.采用傅里叶变换相位解调法恢复波面,所得波面RMS值为0.105λ.与采用SID-4波前探测器测得的波面RMS值(0.101λ)基本一致,满足了Φ400 mm瞬态波前测量的要求.

关键词：光学测量、波前检测、瞬态波前、光栅点衍射干涉术、线性载频

所属期刊栏目：23

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61108041,U1231111

在线出版日期：2015-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1538-1546